新(xīn)材料在線^®

《大國(guó)之材》原創文章(zhāng)，轉載請聯系微(wei)信：EILIG2014

新材料在線(xiàn) ID：xincailiaozaixian

圖片：受訪人提(tí)供、圖蟲創意

早(zao)在1842年，科學家格(ge)波夫就在實驗(yàn)室中發現了陰(yīn)極濺射💞現😍象，但(dan)由于人們對濺(jiàn)射技術缺乏深(shēn)入了解，商業化(hua)的磁控濺射設(she)備直到1970年才逐(zhu)漸應用于實❌驗(yan)室和小型生産(chan)。

20世紀80年代以後(hòu)，随着以集成電(diàn)路、信息存儲、液(ye)晶顯示器、光存(cún)儲器、電子控制(zhì)器為主的電子(zǐ)與信息産✊業開(kai)始進入高速發(fa)❌展時期，磁控濺(jiàn)射技術才從實(shi)驗室應用真正(zhèng)進入工業化規(guī)模生産應用領(ling)域。

然而，直到21世(shì)紀初，中國的靶(ba)材仍高度依賴(lài)進口，國内竟無(wu)一家企業能夠(gou)提供高純金屬(shǔ)靶材，市場被日(rì)立金屬、TDK等海外(wài)企業完全壟斷(duan)。

彼時，剛剛經曆(lì)轉企改制的有(yǒu)研集團正在尋(xún)找産業化☎️落地(di)的項目，經過一(yi)年多時間的調(diao)研，有研團📐隊将(jiāng)目标對準了高(gāo)純金屬靶材。

據(ju)全程參與研發(fa)的現任有研新(xīn)材總經理王興(xìng)權回憶，當時業(ye)内對有研的選(xuan)擇反響并不積(ji)極，很多💞人根本(běn)不☔相信中國人(ren)還能生産半導(dǎo)體、集成電路用(yong)靶材。

2005年，剛剛進(jin)入靶材領域的(de)有研團隊對靶(bǎ)材技術的認識(shi)如同一張白紙(zhi)，全憑信念支撐(chēng)。

三年以後，有研(yán)的靶材進入市(shi)場，并獲得客戶(hu)的基♌本‼️認可✏️，産(chǎn)品開始走向正(zhèng)軌。

2012年，有研成為(wéi)批進入國家重(zhòng)大專項的企業(ye)，參與了02專🆚項（集(jí)成電🤞路）後期的(de)所有項目。在項(xiang)目的助力下，憑(ping)借對金屬材料(liao)的深刻理解和(hé)材料學的長期(qī)積累，有研成功(gōng)突破了集成電(dian)路靶材從材料(liào)到制品的全套(tào)技術，讓國産高(gāo)純金屬靶材達(dá)到了國際先進(jìn)水平，并擁有全(quán)部自主知識産(chǎn)權。

用王興權的(de)話說：“現在的有(you)研可以跟國際(ji)上任何微電子(zi)材料大公✂️司平(ping)等的✔️進行市場(chǎng)對話和技術對(dui)話。”

01

打破國外靶(bǎ)材主導地位指(zhi)日可待

《大國之(zhi)材》：您覺得我們(men)國内的高純金(jīn)屬靶材目前的(de)發展水平處于(yú)什麼樣的位置(zhi)？我們存在哪些(xie)發展痛點？

王興(xing)權：我個人認為(wei)在微電子靶材(cái)這塊，中國應該(gai)屬于第二梯隊(dui)🌈，梯🐇隊仍然是日(ri)本的GX公司和美(mei)國的霍尼爾等(deng)公司。在過去十(shí)幾年裡👌，中國的(de)微電子靶材從(cong)零開始，能發展(zhan)到目前的水平(píng)，應該說成果是(shi)非常顯🚶‍♀️著的。

當(dang)前的行業痛點(dian)問題已經不明(ming)顯了，國内的微(wei)電🙇🏻子㊙️靶材基本(běn)🧑🏽‍🤝‍🧑🏻已經與國際領(ling)先企業處于同(tong)一競争水平。原(yuan)來談到☁️痛點，可(kě)以🐇說渾身都是(shi)痛，關鍵指标不(bu)清、核🌈心技術不(bu)通、市🔞場認可度(dù)低、人🛀🏻才隊伍缺(que)乏、原材料受制(zhì)于人等等，都是(shi)我們曾經經‼️曆(li)的痛點。

但是國(guo)内的微電子靶(bǎ)材發展到今天(tian)，原來的錐心之(zhī)痛已經不✌️存在(zài)了。但是，我們畢(bì)竟處于第二梯(tī)隊，更全⭐面的描(miao)述當前國内微(wēi)電子靶材的發(fā)展水平，我認為(wéi)是多數☔跟從，部(bù)分平起，個别超(chao)越。

《大國之材》：有(yǒu)研新材近幾年(nian)高純金屬靶材(cai)的市場營收增(zēng)顯著，您分🧑🏽‍🤝‍🧑🏻析主(zhǔ)要是哪些原因(yīn)？

王興權：我覺得(dé)高純金屬靶材(cái)的業績增長主(zhǔ)要取決于三個(gè)因素。首先🍉是大(dà)勢，在過去的20年(nián)裡邊，中國的集(jí)成電子領域是(shì)一✊個穩🏃步增長(zhang)的發展階段，中(zhōng)芯國際等優勢(shì)企業像雨後春(chūn)筍般湧現出來(lái)。

全球的微電子(zǐ)領域，年平均的(de)發展速度大約(yuē)為4%到5%，但是在過(guo)♍去的20年内，中國(guó)微電子領域一(yī)直都保持在13%到(dào)14%的發展水平。沒(mei)有微電子領域(yù)的快速發展，就(jiù)不可能有相關(guan)的領域裝備和(he)材料的進步。

其(qí)次，有研科技集(jí)團（原有色金屬(shǔ)研究總院）主要(yao)從事有色金屬(shu)領域的共性技(jì)術開發，經過六(liu)十多年的積澱(diàn)，我們擁🏃‍♀️有大量(liang)金屬材料制備(bei)和加工技術，對(dui)金屬材料的理(lǐ)解非🌈常透徹。這(zhè)些積累為我們(men)在微電子材料(liào)領域的技術開(kai)發和提升提供(gong)了巨大支撐。

當(dang)然，關鍵的一點(dian)，是有研人的努(nǔ)力和堅持，是一(yi)種産業情🚶懷📱或(huo)者說國家情懷(huai)，一種我們中國(guo)人必須做得出(chū)、做得好的勁頭(tóu)。

在我們剛剛進(jin)入這個領域的(de)時候，範圍内沒(mei)有人做微電子(zǐ)靶材，甚至做集(ji)成電路相關材(cái)料的企業都非(fei)常少，那時候靶(ba)材被霍尼韋爾(er)、東曹、威廉姆斯(sī)、優美科、日礦等(deng)國外企業壟斷(duàn)，中國當時也有(you)幾家公司和科(ke)研機構想進入(rù)這個領域，但受(shòu)制于技術門檻(kan)和市場❄️門檻，有(yǒu)些單位進來又(yòu)退出了，有些單(dan)位發展止步不(bú)前，國産靶材行(hang)業發展起起伏(fu)伏。在這中間，有(yǒu)研新材得益于(yu)長期的堅持和(hé)持續投入。

當然(ran)，國家的重視和(hé)支持為我們的(de)發展提供了強(qiang)🚶大支撐。

《大國之(zhi)材》：2018年靶材市場(chang)規模的增速達(da)到30%，在半導體方(fāng)面，增速💜達到60%。随(sui)着㊙️5G應用趨勢的(de)到來，微電子靶(bǎ)材的格局會💞發(fa)生哪些變化？

王(wáng)興權：我認為打(da)破國外企業占(zhan)主體的局面，指(zhi)日可待。現在國(guó)内的靶材企業(yè)在國際範圍内(nèi)競争，從技術到(dào)管理再到市場(chǎng)占有率，已經沒(mei)有明顯的劣勢(shì)，尤其是在國内(nèi)市場方面，這幾(ji)年全球集成電(dian)路的産業布局(ju)向中國大陸在(zài)轉移。從區域發(fa)展來看，中國大(da)陸的發展速度(dù)會遠遠高于歐(ou)美、東南亞、日本(běn)、中國台灣等其(qi)他地區。在市場(chǎng)交互和本地化(hua)服務方面，國内(nèi)企業具備獨特(tè)的地緣優勢。

但(dàn)值得注意的是(shì)，從新品開發的(de)角度來看，目前(qian)絕大多數新産(chǎn)品仍出自國外(wai)企業，尤其是日(ri)本的JX公司，占🐇有(yǒu)靶⁉️材新🏃🏻品約60%的(de)份額，一直保持(chi)着技術原發性(xing)優勢，在未來市(shì)場中自然也會(huì)居于主導地位(wèi)，因此我們在☀️一(yī)段時間内可能(néng)還是跟從的狀(zhuàng)态。

但新技術的(de)引入，尤其是5G技(jì)術的普及将是(shì)一個非👨‍❤️‍👨常📧好的(de)契⭐機。随着集成(chéng)電路的線寬越(yue)來越窄，對材料(liào)提🔞出了更高的(de)需求，原來的材(cai)料組分、純度、組(zu)織結構已不足(zú)以☂️支撐集🚶‍♀️成電(diàn)路技術指🏒标的(de)躍升。有研新材(cai)對材料的理解(jiě)是非常深的，對(dui)材料元素的控(kong)制、材料行為控(kong)制和組織結構(gòu)控制是我們的(de)強項。這就給了(le)我們一次突破(po)老産品的固定(ding)格局，大家站在(zai)同一起跑線上(shàng)的機會。在新産(chǎn)品框架下，我們(men)的材料技術優(you)勢将發揮得更(gèng)淋漓盡緻。

另外(wài)，随着電子信息(xi)技術的發展和(he)應用領域的拓(tuò)寬，芯片的特殊(shu)功能性需求越(yuè)來越高，比如未(wèi)來一🤟些芯片制(zhi)☎️程中❤️對材🚶‍♀️料的(de)💘磁性能、熱效應(yīng)、相變反應、壓電(diàn)效🔆應等方面提(ti)出特殊需要，很(hěn)可能已超越了(le)♈單質材料的物(wu)理極♋限，這時就(jiù)需要靠特種合(he)金材🈲料、複合材(cai)料或不同材料(liao)的複合工藝才(cái)能滿足性能需(xu)求，這就涉及到(dào)材料性質👉與功(gōng)能的關聯💔，涉及(ji)到材料的設計(jì)。這時，誰在材料(liào)技術方面積澱(diàn)深厚，誰在功能(néng)材料開發🔞方面(mian)能力強，誰就能(néng)抓住微電子産(chan)業的發展機遇(yu)，誰就能成為未(wèi)來的領跑者。

有(you)研新材辦公樓(lou)

02

“電磁光醫”協同(tong)發展

《大國之材(cai)》：有研新材目前(qian)在新材料領域(yù)所處的一個行(hang)業地位如何？

王(wáng)興權：談到在新(xin)材料領域的行(hang)業地位，由于有(you)研新材的産業(ye)覆蓋領📞域比較(jiào)廣，需要細分來(lái)說，總結起來我(wǒ)們叫“電磁光醫(yi)”四大闆塊引領(ling)發展。

在微電子(zǐ)薄膜材料領域(yu)，目前我們的全(quán)球市場占有率(lü)🤞大概5%，數字并不(bú)大，但這個5%的内(nèi)涵很重要，可以(yǐ)分三個維🌂度來(lai)看。

一是從市場(chǎng)維度來看，我們(men)目前以國内客(kè)戶為主，國内的(de)客戶覆蓋率接(jiē)近100%，也就是說國(guó)内幾乎所有☀️微(wei)電♊子企業都會(hui)用到有研新材(cai)的材料。

二是從(cong)産品覆蓋維度(du)來看，我們自己(jǐ)内部一種說法(fa)叫“全餐💋”。隻要是(shì)微電子領域用(yòng)的金屬薄膜材(cai)料✌️，無論是濺射(shè)靶🙇🏻材還是蒸發(fā)材料，所有的材(cai)料品種、所有的(de)♋産品型号有研(yan)新材都有。

還有(yǒu)一個重要的維(wéi)度，叫垂直一體(ti)化。這一點在全(quán)❓球🐪範圍内，隻有(you)日本的JX公司和(he)美國的霍尼韋(wéi)爾能夠做🔆得到(dao)（這兩家也沒全(quan)做到）。我們不僅(jin)僅生産靶材和(he)蒸發材料🐆，還可(kě)以自己生🚩産制(zhi)作靶材的微電(diàn)子級原材料， 比(bǐ)如說微電子靶(ba)材用的銅材，我(wǒ)們能夠把市場(chǎng)上随處可得的(de)普通的銅材，提(tí)純到“六個九”的(de)電子級🏒超高純(chún)銅。在微電子領(ling)域，能夠做到原(yuán)材料不受制于(yu)人，對于企業的(de)存活和發展至(zhi)關重⛱️要！

在微電(diàn)子薄膜材料領(ling)域，有研新材已(yi)經是國内行業(ye)龍頭，技♉術優勢(shi)、人才優勢、市場(chǎng)優勢已經形成(cheng)。

在稀土領域，有(you)研新材應該說(shuo)是範圍内稀土(tǔ)技術能力強全(quan)面的企業。有研(yán)新材具備從稀(xī)土選礦、稀土分(fèn)離，稀✌️土金屬制(zhì)備的全流程原(yuan)創技術。現在全(quán)球範圍内70%的稀(xī)土選冶都源于(yú)👄我們的技術。目(mù)前有研新材是(shi)全球能生🤟産多(duō)種超高純稀土(tǔ)金屬的企業。我(wo)們的稀土發光(guang)材料、稀土磁性(xìng)材料技術也具(ju)備國内領先水(shuǐ)平。

在紅外光學(xué)材料方面，有研(yan)一直掌握着行(hang)業引領性技術(shu)，中國的根鍺單(dān)晶就出自我們(men)之手，目前有研(yan)新材是🐕國内大(dà)的紅外鍺單晶(jing)和二六族晶體(tǐ)生産企業。

在生(sheng)物醫用材料方(fāng)面，中國根牙弓(gōng)絲、支食道支架(jia)📧、支膽道❓支架、支(zhī)前列腺支架等(děng)等，都是由我們(men)出品的。

總而言(yan)之，有研新材是(shì)一家市場導向(xiang)、技術先導型企(qi)業，在材料領域(yù)具有強大的技(jì)術創新和技術(shù)轉化能力，使企(qǐ)業在發展中始(shǐ)終保持旺盛的(de)活力和動力，為(wei)企業提🔞供了廣(guang)闊的發展空間(jian)。

《大國之材》：公司(sī)對未來市場的(de)布局，有哪些新(xin)的舉措？

王興權(quan)：我們從現在的(de)戰略維度上來(lái)看，還是圍繞“電(diàn)磁光醫❄️”這四個(ge)闆塊，這四個闆(pǎn)塊有不同的定(dìng)位，其資源配置(zhì)方式和發展模(mó)式也不同。

電子(zǐ)薄膜材料闆塊(kuai)是有研新材的(de)核心業務闆塊(kuai)，也是未來重點(diǎn)發展的産業領(lǐng)域。公司将持續(xu)加大在這一領(ling)域的資源配置(zhi)力度，不斷優化(huà)産業布局，壯大(dà)産業規模，并終(zhōng)成為全球領先(xiān)的微電子薄膜(mó)材料和相關服(fú)務的提供者。

稀(xī)土領域，我們将(jiāng)大力推動稀土(tǔ)綠色清潔選冶(yě)技術，提供行業(yè)服務，助推我國(guo)稀土産業的良(liang)性發展，同時充(chong)分發揮全産業(yè)鍊技術優勢，發(fa)展特種磁性材(cái)料産業。

特種光(guang)學材料領域，繼(jì)續保持行業領(lǐng)頭羊的位置，充(chōng)分發揮核心材(cai)料優勢，适度延(yan)伸産業鍊。

生物(wu)醫用領域，走市(shì)場化道路，引入(rù)優質的資本方(fāng)和資源❤️方，使其(qí)具有高度市場(chǎng)活力和企業活(huo)力，推動快速發(fa)展。