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《大國之材》原創文(wén)章，轉載請聯系微(wei)信：EILIG2014

新材料在線 ID：xincailiaozaixian

圖(tu)片：受訪人提供、圖(tu)蟲創意

早在1842年，科(kē)學家格波夫就在(zai)實驗室中發現了(le)陰極濺♉射現象，但(dan)由于人們對濺射(shè)技術缺乏深入了(le)解，商業化的磁控(kong)濺射設備🔅直到1970年(nian)才逐漸應用于實(shi)🤩驗室和💁小型生産(chǎn)。

20世紀80年代以後，随(suí)着以集成電路、信(xìn)息存儲、液晶顯示(shi)器、光存儲器、電子(zǐ)控制器為主的電(dian)子與信息産業開(kai)💰始進入高速發展(zhǎn)時期，磁控濺射技(ji)術才從實驗室應(ying)✨用真正進入工📧業(ye)化規模生産應用(yòng)領域。

然而，直到21世(shì)紀初，中國的靶材(cai)仍高度依賴進口(kǒu)，國内竟無一家🔴企(qi)業能夠提供高純(chún)金屬靶材，市場被(bei)日立金屬、TDK等海😄外(wài)企業完全壟斷。

彼(bi)時，剛剛經曆轉企(qǐ)改制的有研集團(tuán)正在尋找産業化(hua)🚶落地的項目，經過(guo)一年多時間的調(diao)研，有研團隊将💔目(mù)标對準了高純金(jīn)♈屬靶材。

據全程參(can)與研發的現任有(yǒu)研新材總經理王(wang)興權回憶，當時業(yè)内對有研的選擇(zé)反響并不積極，很(hen)多人💋根本不相信(xin)中國人還能生産(chan)半導體、集成電路(lu)用靶材。

2005年，剛剛進(jìn)入靶材領域的有(yǒu)研團隊對靶材技(jì)術的認識如同一(yi)張白紙，全憑信念(nian)支撐。

三年以後，有(you)研的靶材進入市(shì)場，并獲得客戶的(de)基🤩本👅認🈲可，産品開(kai)始走向正軌。

2012年，有(yǒu)研成為批進入國(guo)家重大專項的企(qi)業，參與了02專項（集(jí)成電路）後期的所(suo)有項目。在項目的(de)助力下，憑借對金(jin)屬材料的深刻理(li)解和材料學的長(zhang)期積累，有研😍成功(gōng)突破了集成電路(lu)㊙️靶材從材料到制(zhi)品的全套技術，讓(rang)國産高純金屬❤️靶(bǎ)材達到了國際先(xiān)進水平，并擁有全(quán)部自主知識産權(quan)。

用王興權的話說(shuō)：“現在的有研可以(yǐ)跟國際上任何微(wēi)電子材料大公司(sī)🎯平等的進行市場(chang)對話和技術對話(hua)。”

01

打破國外靶材主(zhǔ)導地位指日可待(dài)

《大國之材》：您覺得(dé)我們國内的高純(chun)金屬靶材目前的(de)發展水平處于什(shí)💃🏻麼樣的位置？我們(men)存在哪些發展痛(tong)點？

王興權：我個人(ren)認為在微電子靶(ba)材這塊，中國應該(gai)屬于第二梯隊🛀🏻，梯(ti)隊仍然是日本的(de)GX公司和美國的霍(huò)尼爾等公司。在過(guò)去十幾年裡，中國(guó)的微電子靶材從(cong)零開始，能發展到(dào)目前的水平，應該(gai)說成果是非常顯(xian)著的。

當前的行業(ye)痛點問題已經不(bu)明顯了，國内的微(wei)電子靶材🔴基本已(yǐ)經與國際領先企(qǐ)業處于同一競争(zhēng)水平💋。原來談到痛(tòng)點，可以說渾身都(dōu)是痛，關鍵指标不(bu)清、核心技術❌不通(tong)、市場認可🌏度低、人(ren)才隊伍缺乏、原材(cái)料受制于人等等(děng)，都是我們曾經經(jing)曆的痛點。

但是國(guo)内的微電子靶材(cai)發展到今天，原來(lái)的錐心之痛✌️已🤟經(jīng)不存在了。但是，我(wo)們畢竟處于第二(èr)梯隊🤩，更全面的描(miáo)述💜當前☎️國内微電(dian)子靶材的發展水(shuǐ)平，我認為是多數(shù)跟從，部♻️分平起🔞，個(gè)别超越。

《大國之材(cai)》：有研新材近幾年(nián)高純金屬靶材的(de)市場營收增顯著(zhe)，您分💛析主㊙️要是哪(na)些原因？

王興權：我(wo)覺得高純金屬靶(ba)材的業績增長主(zhǔ)要取決于三個因(yīn)💁素。首先是大勢，在(zai)過去的20年裡邊，中(zhōng)國的集成電子🥵領(ling)域是一☎️個穩步增(zeng)長的發展階段，中(zhong)芯國際等優勢企(qi)業像雨後春筍般(bān)湧現出來。

全球的(de)微電子領域，年平(píng)均的發展速度大(da)約為4%到5%，但是🈲在過(guò)去的20年内，中國微(wei)電子領域一直都(dou)保持在13%到14%的發展(zhǎn)水平。沒有微電子(zǐ)領域的快速發展(zhan)，就不可能🤞有相關(guān)的領域裝備和🔱材(cái)料的進步。

其次，有(you)研科技集團（原有(you)色金屬研究總院(yuàn)）主要從事有色金(jin)屬領域的共性技(jì)術開發，經過六十(shí)多年的積澱，我🏃‍♀️們(men)擁有大量金屬材(cai)料制備和加工技(jì)術，對金屬材料的(de)理解非常透徹🌐。這(zhè)些積累為我們在(zài)微電子材料領域(yù)的技術開發和提(ti)升提供了巨大支(zhi)撐。

當然，關鍵的一(yī)點，是有研人的努(nǔ)力和堅持，是一種(zhong)産業情懷或者說(shuō)國家情懷，一種我(wǒ)們中國人必須做(zuo)得出、做得好的勁(jìn)❗頭。

在我們剛剛進(jin)入這個領域的時(shí)候，範圍内沒有人(ren)做微電子靶材，甚(shèn)至做集成電路相(xiang)關材料的企業都(dōu)非常少‼️，那時候靶(bǎ)材被霍尼韋爾、東(dōng)曹、威廉姆斯、優美(mei)科、日礦等國外企(qǐ)業壟斷，中國當時(shí)也有幾家公司和(he)科研機構想進入(ru)這個領域，但受💰制(zhì)于技術門檻和市(shi)場📞門檻，有些單位(wei)進來又退出了，有(you)些單🔆位發展止步(bu)不🚶‍♀️前，國産靶材行(hang)業發展起起伏📧伏(fu)。在這中間，有研新(xin)材得益于長期的(de)堅持和持續投入(ru)。

當然，國家的重視(shì)和支持為我們的(de)發展提供了強大(dà)支撐。

《大國之材》：2018年(nian)靶材市場規模的(de)增速達到30%，在半導(dao)體方面，增速達到(dao)60%。随着5G應用趨勢的(de)到來，微電子靶材(cai)的格局會發生哪(nǎ)些變化？

王興權：我(wǒ)認為打破國外企(qi)業占主體的局面(mian)，指日可待。現在國(guó)内的靶材企業在(zài)國際範圍内競争(zhēng)，從技術到管理再(zai)到市場占有率，已(yi)經沒有明顯的劣(lie)勢，尤其是在國内(nei)市場方面，這幾年(nián)全球集成電路的(de)産業布局向中國(guó)大陸在轉移。從區(qu)域發展來看，中國(guo)大陸的發展速度(dù)會遠遠高于歐美(mei)、東南亞、日本、中國(guó)台灣等其他地區(qu)。在市場交互和本(běn)地化服務方面，國(guo)内企業具備獨特(tè)的地緣優勢。

但值(zhi)得注意的是，從新(xin)品開發的角度來(lai)看，目前絕大多數(shù)新産品仍出自國(guó)外企業，尤其是日(rì)本的JX公㊙️司，占有靶(ba)材新品約60%的份額(é)，一直保持着技術(shù)原發性優勢，在未(wèi)來市場中自然也(yě)會居于主導地位(wèi)，因😘此我們在一段(duan)時間内可能還是(shi)跟從的狀态。

但新(xīn)技術的引入，尤其(qi)是5G技術的普及将(jiang)是一個非常好的(de)😍契機。随着集成電(dian)路的線寬越來越(yue)窄，對材料提出了(le)更高的需求，原來(lai)的材料組分、純度(du)、組織結構已不足(zú)以🔞支撐集成電路(lù)技術指标的躍升(sheng)。有👄研新材對材料(liào)的理解是非常深(shen)的，對材料元素的(de)💋控制、材料行👉為控(kong)制和組織結構控(kòng)制是我們的強🛀項(xiang)。這就給了我們一(yī)次突破老👣産品的(de)固定格🈲局，大家站(zhàn)在同📐一起跑線上(shàng)的機會。在新産品(pǐn)框架下，我們的材(cái)料技術優勢❗将發(fā)揮得更淋漓♍盡緻(zhi)。

另外，随着電子信(xin)息技術的發展和(hé)應用領域的拓寬(kuān)，芯片的特💘殊功能(neng)性需求越來越高(gāo)，比如未來一些芯(xīn)片制㊙️程中對材料(liào)的磁性能、熱效應(yīng)、相變反應♋、壓電效(xiào)應等方面提出特(te)殊需要，很可能已(yǐ)超越了♊單質材料(liao)的物理極限，這時(shí)就✨需要靠特種合(he)金材☁️料、複合材料(liào)或不同材料的複(fu)合工藝⚽才能滿足(zú)性🛀🏻能需求，這就涉(she)及到材料性質與(yu)功能的關聯，涉及(jí)到材料的設計。這(zhe)⛱️時，誰在材料技術(shu)🌏方面積澱深厚，誰(shui)在功能材料開發(fa)方面能力強，誰就(jiu)能抓住微電子産(chan)業的發展機遇，誰(shui)就能成為未來的(de)領跑🙇‍♀️者。

有研新材(cái)辦公樓

02

“電磁光醫(yi)”協同發展

《大國之(zhi)材》：有研新材目前(qián)在新材料領域所(suǒ)處的一個行業地(di)位如何？

王興權：談(tan)到在新材料領域(yu)的行業地位，由于(yu)有研新材的産業(ye)㊙️覆蓋㊙️領域比較廣(guang)，需要細分來說，總(zǒng)結起來我們叫“電(diàn)磁光醫”四大闆塊(kuai)🚶‍♀️引領發展。

在微電(dian)子薄膜材料領域(yu)，目前我們的全球(qiú)市場占有率♊大概(gài)5%，數字并不大，但這(zhe)個5%的内涵很重要(yào)，可以分三個維🌐度(dù)來看。

一是從市場(chǎng)維度來看，我們目(mu)前以國内客戶為(wei)主，國内的客戶🧑🏾‍🤝‍🧑🏼覆(fu)蓋率接近100%，也就是(shi)說國内幾乎所有(you)✊微電💯子企業都㊙️會(hui)用到有研新材的(de)材料。

二是從産品(pǐn)覆蓋維度來看，我(wǒ)們自己内部一種(zhǒng)說法叫“全餐”。隻要(yao)是微電子領域用(yòng)的金屬薄膜材料(liao)🏃‍♀️，無論是濺射靶材(cai)還是蒸發材料，所(suo)有的材料品種、所(suo)有的🐅産品型🤞号有(you)研新材都☀️有。

還有(yǒu)一個重要的維度(du)，叫垂直一體化。這(zhè)一點在全⛷️球🐪範圍(wéi)内，隻🥰有日本的JX公(gong)司和美國的霍尼(ni)韋爾能夠做得到(dào)🌈（這兩家也沒全做(zuo)到）。我們不僅僅生(sheng)産靶材和蒸發材(cai)料，還可以自己生(shēng)産制作靶材的微(wēi)電👣子級原材料， 比(bi)如說🔆微電子靶材(cái)用的銅材，我們能(néng)夠把市場上随處(chù)可得的🏃‍♀️普通的銅(tong)材，提純到“六個九(jiǔ)”的電子級超高純(chún)銅。在微電子領域(yu)，能夠做到原材料(liao)不受制于人，對于(yú)企業的存活🔆和發(fā)展至關重❄️要！

在微(wēi)電子薄膜材料領(ling)域，有研新材已經(jīng)是國内行業龍頭(tou)，技術🐅優勢、人才優(yōu)勢、市場優勢已經(jīng)形成。

在稀土領域(yu)，有研新材應該說(shuō)是範圍内稀土技(jì)術能🔱力強全面的(de)企業。有研新材具(ju)備從稀土選礦、稀(xī)土分離，稀土金屬(shu)制備的✨全流程原(yuan)創技術。現在全球(qiú)範圍内70%的稀土選(xuan)冶⭕都源于我們的(de)‼️技術。目前有🌂研新(xīn)材是全球能生🧡産(chǎn)多種超高純稀土(tu)金屬的企業。我們(men)的稀土發光材料(liao)、稀土磁性材料技(jì)術也具備國内領(ling)先水平。

在紅外光(guāng)學材料方面，有研(yán)一直掌握着行業(yè)引領性技🈲術，中國(guó)的根鍺單晶就出(chu)自我們之手，目前(qián)有研新材是國内(nèi)大的🏃‍♀️紅外鍺單晶(jing)和二六族晶體生(shēng)産企業。

在生物醫(yī)用材料方面，中國(guo)根牙弓絲、支食道(dào)支架、支💞膽道支🌈架(jia)、支前列腺支架等(děng)等，都是由我們出(chu)品🔴的。

總而言之，有(yǒu)研新材是一家市(shi)場導向、技術先導(dǎo)型企業，在✔️材💛料領(lǐng)域具有強大的技(jì)術創新和技術轉(zhuan)化能力，使企業在(zài)發❓展中始終保持(chi)旺盛的活力和動(dòng)力，為企業提供了(le)廣闊的發展空間(jian)。

《大國之材》：公司對(dui)未來市場的布局(jú)，有哪些新的舉措(cuo)？

王興權：我們從現(xiàn)在的戰略維度上(shàng)來看，還是圍繞“電(dian)磁光醫📞”這四個闆(pan)塊，這四個闆塊有(yǒu)不同的定位，其資(zī)源配置方式和發(fā)展模式也不同。

電(dian)子薄膜材料闆塊(kuai)是有研新材的核(hé)心業務闆塊，也是(shì)未來重點發展的(de)産業領域。公司将(jiang)持續加大在這一(yī)領域的資源配置(zhì)力度，不斷優化産(chan)業布局，壯大産業(ye)規模，并終成為全(quán)球領先的微電子(zi)薄膜材料和相關(guān)服務的提供者。

稀(xi)土領域，我們将大(dà)力推動稀土綠色(sè)清潔選冶技術，提(ti)供行業服務，助推(tuī)我國稀土産業的(de)良性發展，同時充(chōng)分發揮全産業鍊(lian)技術優勢，發展特(te)種磁性材料産業(ye)。

特種光學材料領(ling)域，繼續保持行業(ye)領頭羊的位置，充(chong)分發揮核心材料(liào)優勢，适度延伸産(chan)業鍊。

生物醫用領(lǐng)域，走市場化道路(lù)，引入優質的資本(běn)方和資💋源方，使其(qi)具有高度市場活(huó)力和企業活力，推(tui)動快☁️速發展。